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308准分子激光准分子激光是指由电子束激发的惰性气体和卤素气体的混合物形成的分子跃迁到基态时产生的激光。准分子激光是一种没有热效应的冷激光。它是一种方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光器。光子能量的波长范围是157-353nm，寿命是几十纳秒。属于紫外线。最常见的波长为157纳米、193纳米、248纳米、308纳米和351-353纳米。氯化氙准分子激光器
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